电子气体

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。

No.
产品名称
纯度
净含量
包装容器
阀门型号
1
八氟环丁烷
C4F8
5N
45KG
DOT43.3L
DISS716
2
三氟甲烷
CHF3
5N
30KG
DOT47L
DISS716
3
二氟甲烷
CH2F2
5N
30KG
DOT47L
DISS724
4
一氟甲烷
CH3F
5N
5KG
DOT47L
DISS724
5
六氟丙烯
C3F6
5N
40KG
GB40L
QF-90A
6
六氟乙烷
C2F6
5N
40KG
DOT47L
DISS716
7
五氟乙烷
C2HF5
5N
40KG
DOT47L
DISS716
8
六氟丁二烯
C4F6
5N
40KG
DOT47L
DISS724