半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。
No. |
产品名称 |
纯度 |
净含量 |
包装容器 |
阀门型号 |
1 |
八氟环丁烷 C4F8 |
5N |
45KG |
DOT43.3L |
DISS716 |
2 |
三氟甲烷 CHF3 |
5N |
30KG |
DOT47L |
DISS716 |
3 |
二氟甲烷 CH2F2 |
5N |
30KG |
DOT47L |
DISS724 |
4 |
一氟甲烷 CH3F |
5N |
5KG |
DOT47L |
DISS724 |
5 |
六氟丙烯 C3F6 |
5N |
40KG |
GB40L |
QF-90A |
6 |
六氟乙烷 C2F6 |
5N |
40KG |
DOT47L |
DISS716 |
7 |
五氟乙烷 C2HF5 |
5N |
40KG |
DOT47L |
DISS716 |
8 |
六氟丁二烯 C4F6 |
5N |
40KG |
DOT47L |
DISS724 |